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半导体洁净烘箱

半导体洁净烘箱

产品详情

一、 适用区域

本烘箱适合于洁净车间内使用,适用于高精密半导体中烘干,胶水固化,精密光学元件清洗后烘干等热处理。

二、 设备特点

  1. SUS304 1.5mm不锈钢板,全满焊工艺;

  2. 箱内风道内设有洁净空气入口并装有高效过滤器。可使用换气和不换气模式,可以使箱内保证微正压,以保证污染物不能进入内箱;

  3. 高效过滤器HEPA过滤网构造洁净室,可以对箱体内气体进行单向过滤和循环过滤。根据使用要求,可以满足洁净级别ISO Class 5(国标100级),ISO Class 6(国标1000级),ISO Class 7(国标10000级)等各种等级的需求;

  4. 配置自动充氮气装置,与自动开关风门进行充氮烘烤;

  5. 全新开发触摸屏操作系统,带高精度PID主控仪,控温精度为±0.1℃,自动恒温。可以保存配方,查看温度曲线,导出升温数据等;

  6. 根据使用要求,可以接受定制。

三、 规格明细表

型号

YH-J100-ES-02

工作稳定范围

常温—150℃

使用电压

三相五线380V,50Hz

控温精度

±0.1℃

加热功率

6KW

温度均匀性

±3%℃

温度稳定度

±2℃

尺寸

工作尺寸

H910mm*W620mm*D620mm


 

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