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无氧化烘箱被广泛应用于半导体及光电行业
- 2021-10-13-

       为满足半导体封装测试行业对无氧化烘烤的需求,根据半导体及光电行业的使用习惯、材料特性、工艺流程、烘烤的难点、烘烤出现的问题等;怡和兴特研发了一款无氧化烤箱。在无氧分化真空环境下,氧分压降低,避免了物料在干燥过程中的氧化变质现象,保障了被干燥产品的质量,且具有功能齐全、烘烤效果好、使用方便、易于操作等特点。主要应用于航空、航天、石油、化工、军事、船舶、电子、通讯等科研及生产单位,主要作BPO胶/PI胶/BCB胶固化,IC(晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指纹识别)、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干,电工产品、材料、零备等的高温洁净和无氧环境中干燥和老化试验。烘箱推出市场以来已获得国内外多家知名半导体企业的高度认可。

       无氧化烘箱具备以下产品特点:

1、箱体选用陶瓷纤维保温,具有升温快、节能等特点。

2、内胆采用满焊处理,管路采用无缝不锈钢管件焊接处理,氧浓度低可达20PPM 。

3、利用强制通风作用,烘箱内设有风道,温度均匀度1.5℃%,物料干燥均匀,吸风口玻纤过滤器,确保洁净度的要求。

4、采用进口温控系统,PID自动演算,控温精度±0.5℃。

5、双流量计节氮系统,双延时充氮控制,无氧、低氧环境下大大节省氮气消耗量。

6、能实现≤50ppm的氧含量,由于其密封性及进氮气分布,风道设计,排气位置设计,都是经过数模模拟设计。

7、无氧烤箱门是采用的双密封结构,同时能实现快速降氧,快速升降温的功能。

8、可适应工业4.0生产需求。

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