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| 洁净无尘烘箱 | |
| 洁净无尘烘箱主要通过空气过滤器来净化环境,避免空气中的细小颗粒物进去箱内。箱内空气封闭自循环，经100级耐高温高效空气过滤器反复过滤，使工作室内处于无尘状态。无尘烘箱适用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门。 | |
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| 无氧洁净隧道炉 | |
| 无氧洁净隧道炉能够在氧气浓度低至 100ppm 的气氛中，保持100级洁净度，最高加热温度可达 300℃ 的温度，并实现多温区烘烤产品。非常适合精密元器件晶圆，晶振退火，环氧树脂固化等热处理。连续式生产的模式，可以与前后工艺的自动化设备联动，实现自动化生产。 | |
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