公司产品

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  芯片半导体专用真空烤箱

  怡和兴芯片半导体专用真空烤箱采用模拟工程学的数字技术控制真空度，通过电磁阀全自动数显控制，提供更加精确有效的真空度控制。留有安装真空泵的空间、采用快速连接法兰配管方式、配备独立过升

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  洁净烤箱

  适用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；

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  半导体无氧烤箱

  无氧化烘箱工作时，工作室内充满了惰性气体CO2,N2，防止材料在烘烤时被氧化。在工业中用途广泛：IC包装，LCD，晶体管，传感器，二极管，石英晶体振荡器，混合集成电路板等适用于半导

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  LED固化隧道炉

  针对LED封装中的固晶以及点胶工艺，通过独立链条式轨道设计，保证料盒平稳的隧道炉中进行烘烤。采取局域化多温区设置，保证在宽度和长度满足高产能批量生产要求的情况下，也具备150±5℃

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  LED自动排支架及除湿隧道炉

  LED封装专用隧道炉除了具备烘烤自动化，从传统立式烘箱转化为自动传动的隧道式烤炉以外，同时具备部分机械动作。结合自动排支架以及自动烘烤工艺，可以与上下段工艺设备进行自动化对接，减少

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  非标自动化隧道炉烘烤线

  自动化对接烘烤线主要应对自动化生产中，烘烤工艺自动化解决方案。超过15年的烘烤行业经验，以及自动化设备生产的经验，可以为客户提供各类非标自动化烘烤解决方案。

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  等离子清洗机

  用于对半导体封装过程中 W/B 前、Molding 前的 L/F、Substrate、BGA 产品清洗，电浆清洗制程中具有可重复性高、可控性强、稼动率高，无污染产生，以及运营成本低

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  无氧洁净隧道炉

  能够在氧气浓度低至100 ppm 的气氛中，保持100级洁净度，最高加热温度可达 300℃ 的温度，并实现多温区烘烤产品。非常适合精密元器件晶圆，晶振退火，环氧树脂固化等热处理。连

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