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无氧烘箱250
无氧烘箱

无氧烘箱应用于PI、BCB、LCP固化烘烤、光刻胶固化、电子陶瓷材料烘干的特殊工艺要求,适合半导体制造、COB封装、医疗卫生、柔性线路板印刷、精密模具退火等行业的无氧化干燥烘烤工艺要求。



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洁净无尘烘箱250洁净无尘烘箱

主要通过空气过滤器来净化环境,避免空气中的细小颗粒物进去箱内。箱内空气封闭自循环,经100级耐高温高效空气过滤器反复过滤,使工作室内处于无尘状态。无尘烘箱适用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门。

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高温真空无氧烘箱250
高温无氧烘箱

高性能无氧烘箱能够在氧气浓度低至500ppm的气氛中在高达500℃的温度下进行热处理。这使得该系列非常适合 MLCC和LTCC 脱脂,以及各类抗氧化热处理。同时采用由冷却水循环的外部冷却机构,可以在不影响炉内气氛的情况下进行快速冷却,从而缩短处理时间。


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高温高真空烘箱250
高温高真空烘箱

高温高真空烘箱干燥会降低沸点,可以用于干燥加热敏感材料(包括粉末)以提取水分,将水以外的化合物的损失降至最低。同时结合加热与真空环境,可以对材料进行预热增加材料流动性,然后在环境低压状态可以用于材料脱除气泡工艺。


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无氧洁净隧道炉250
无氧洁净隧道炉

无氧洁净隧道炉能够在氧气浓度低至 100ppm 的气氛中,保持100级洁净度,最高加热温度可达 300℃ 的温度,并实现多温区烘烤产品。非常适合精密元器件晶圆,晶振退火,环氧树脂固化等热处理。连续式生产的模式,可以与前后工艺的自动化设备联动,实现自动化生产。


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