无氧烤箱，是以营造柜内氧气低含量，并进行加热烘烤的干燥设备。主要是对于一些金属等比较容易氧化的器件进行烘烤干燥固化时的防氧化保护。我们都知道，半导体制造可以细分为前道和后道两个工艺步骤。前道工艺是将硅材料加工制造成晶圆片，通过光刻机曝光等多道工序将 IC 设计图案加载到晶圆上，制成集成电路；后道工艺是将载有集成电路的晶圆分割成基本单元，通过封装、测试后制成的集成电路产品。而无氧烤箱在无氧分化真空环境下，氧分压降低，避免了物料在干燥过程中的氧化变质现象，保障了被干燥产品的质量，且具有功能齐全、烘烤效果好、使用方便、易于操作等特点，比普通烤箱更适合应用于半导体行业。
怡和兴半导体无氧烤箱具备以下特点:
1、控制系统用PLC+人机界面配合微电脑控制温控器，带PID自动演算功能以保证箱体温度均匀性为±1℃。
2、内材质用SUS304不锈钢板,整个内腔用氩弧焊满焊,防止空气进入烘箱内，同时节省惰性气体；
3、外材质为SPCC钢板经过苏打水清洗后粉体烤漆处理，保温材质为高密度纤维棉，保温效果好。
4、上下炉腔可单独控温、通气、报警保护，强制送风内循环，确保温度均匀。
5、配置自动充氮气装置，与自动开关风门进行充氮烘烤；
6、可以保存配方，查看温度曲线，导出升温数据等；
7、根据使用要求，可以接受定制。
