半导体无尘烤箱是一种提供高温净化环境的特殊洁净无尘烘干设备。工作室内温度由温控仪自动控制，并有自动恒温、自动计时、温度到后定时报警断电、超温断电、漏电保护、电机过载保护等功能，控制可靠，使用安全。但在使用半导体无尘烤箱过程中也要注意以下事项：
1. 氮气口：操作前应将氮气接通本机之氮气口，特别注意在接通前必须先将N2压力调节至适合的流量值。
2. 将烘烤物置入箱内后须将门面关闭，门扣确实扣紧后，门面安全开关有作用，机台才能顺利启动。
3. 无尘洁净烤箱后方之冷却排风口，请接至排气系统冷却时有高温，接管须加保温隔热以防操作人员烫伤或影响工作环境。
4、在开始工作前的话要确认电气是否正常；将检测物品正确放置箱内；开启电源开关并调整温控仪表、适当的温度与加热恒温时间，并且操作人员要专心操作并配戴防护器具；并不得离开加工区。
深圳怡和兴生产的半导体无尘烤箱采用全新开发触摸屏操作系统，带高精度PID主控仪，控温精度为±0.1℃，自动恒温，可适应工业4.0生产需求。适用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤。
