在半导体行业中，很多客户都会遇到许多材料在烘烤和热处理过程中，产品会产生氧化，同时因为氧化导致的物理性质和化学性质发生改变的情况，因此需要使用无氧烤箱。
无氧烤箱是一种新型可营造无氧的恒温环境的电热鼓风干燥箱，在加温工作的同时充入氮气，适用高温易氧化产品烘烤。无氧烘箱采用不锈钢工作室（满焊制造）、覆套不锈钢加热器加热，充入惰性气体。因此干燥箱内造成洁净(可选装耐高温过滤器，达到洁净无尘要求)和温度均匀的微氧高温环境（含氧浓度20-500PPM），有助于提高产品质量。
无氧烤箱的氮气（为惰性气体）能把烘箱内空气赶出，这样就可以在无氧（氧含量100ppm以下）进行干燥、固化、除湿等，避免空气中的氧气破会产品，影响产品品质。
无尘烤箱主要应用于精密电子元件、PI、BCB 胶高温固化烘烤、银胶固化、光刻胶固化、电子陶瓷材料、硅片退火、玻璃退火、无尘烘干的特殊工艺要求，适用于触摸屏、晶圆、LED、PCB 板、ITO 玻璃等精密电子、太阳能、新材料等行业。
无氧烤箱之所以有此越来越广的应用需求，与它的优良性能分不开。大部分热风在无尘烤箱内循环，热效率高，节约能源。利用离心风机强制通风形成循环，无尘烤箱内设有可调式分风板，物料干燥均匀。热源可采用电、燃气、导热油、蒸汽、微波等选择越来越广。无尘烤箱整机噪音小、运转平稳。温度自控，安装维修方便。
