高温真空烤箱是专为干燥热敏性、易分解、易氧化物质而设计的，是去除对温度敏感的产品中残留的水、溶剂或其他挥发性化合物的理想选择。其工作原理，主要是通过降低烤箱中的压力（产生真空）来去除不需要的分子。当烘箱压力达到污染物的所需蒸汽压力时，这些污染物分子会挥发，变成蒸汽，并从产品的所有区域中去除。这种干燥是在不使用过高温的情况下完成的。真空高温烤箱通常适用于不耐高温，温度敏感的产品。
高温真空烤箱还具有以下优势：
易操作，定值运行、程序运行、快速自动停止运行、自动停止运行、自动开始运行均可实现。
温度控制为PID方式触摸屏仪表，单点式或程序式控温，可自动演算，PV/SV同时显示，点触设定；带有记忆功能（如温度、时间）
可通过专用的功能菜单键及上下键实现数码设定。带重复功能，分为3段30步的程序控制器。
拥有自诊断回路（温度传感异常、加热器断线、自动过升防止、SSR短路）、过升防止器、防止过电流的漏电保护开关、按键锁等安全功能。
通过辅助菜单键，可实现过升防止器、偏差修正、按键锁设置的操作。
真空控制方式自动控制，达到真空度停止抽真空，低于下限时自动启动，以此循环工作，恒温时间完成后，停止工作；手动解压充空气或充氮气。