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真需求下的高门槛,怡和兴如何入局半导体行业?
- 2021-04-08-

       半导体作为未来高端制造领域之一,其发展受到市场的高度关注。受益于物联网、智能高端化等多应用场景下游需求驱动,其单机自动化早已不是问题,整体工厂的智能化、信息化才是客户目前的主要诉求。

       在半导体生产工艺中,光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节,涂胶质量直接影响到光刻的质量,涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的,而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的,这造成光刻胶和硅片的黏合性较差,尤其是正胶,显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处,容易造成漂条、浮胶等,导致光刻图形转移的失败,同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后,经加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。

       怡和兴作为一家以自动化生产设备、非标定制设备的企业,一切围绕“满足工业所需”为使命,致力于为客户提供高技术含量、高性价比的生产设备及配套解决方案。自主研发生产的光刻胶高温固化烤箱,半导体高温烤箱应用于精密电子元件、光刻胶固化、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求,箱内空气封闭自循环,经耐高温高效空气过滤器(100级)反复过滤,使烘箱工作室内处于无尘状态。无尘烤箱工作室为不锈钢结构。适用于触摸屏、晶圆、LED、PCB板、ITO玻璃等精密电子、太阳能、新材料等行业。

 

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