Banner
首页 > 新闻 > 内容
专供半导体芯片使用的洁净烤箱
- 2021-09-15-

       封装测试厂从来料(晶圆)开始,经过前道的晶圆表面贴膜然后晶圆背面研磨(GRD)→晶圆背面抛光(polish)→晶圆背面贴膜(W-M)→晶圆表面去膜(WDP)→晶圆烘烤(WBK)等工序对芯片进行封装和测试。半导体芯片的生产车间都有着严格的生产条件要求,比如恒温恒湿,无尘洁净等,芯片只有在适合的环境能才能正常发挥作用,而我们周围的正常环境大多数情况下并不能做到这一点,所以需要封测来保护芯片,为其制造一个良好的工作环境。

       怡和兴洁净工业烤箱是一种提供高温净化环境的特殊洁净无尘烘干设备。箱内空气封闭自循环,经耐高温高效空气过滤器(100级)反复过滤,使烘箱工作室内处于无尘状态。

        洁净烘箱具有以下特点,产品密封性要求,工作室材质用SUS304不锈钢板,内胆用氩弧焊满焊,防止空气进入烘箱内及机台本身所产生的微尘,同时节省惰性气体。外部防尘处理使用材质为SPCC钢板经过粉体喷塑,耐磨不掉尘渣。保温材质为高密度陶瓷纤维,保温节能。分层结构设计内箱层板高低可调,可自由取出,内部结构配件均采用无氧化无尘材质。干燥箱的外箱结构均采用特殊密封结构设计,确保其与洁净室的无交叉污染。箱体有活动脚轮,可任意推动和固定位置。内置的高效过滤器HEPA过滤网构造洁净室与洁净等级100以下。强制送风内循环,确保温度均匀,可选配充氮系统,可选配PLC+HMI人机触摸屏控制系统,带数据输出接口。

带检索功能的信息窗口