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无氧洁净隧道炉

无氧洁净隧道炉

能够在氧气浓度低至100 ppm 的气氛中,保持100级洁净度,最高加热温度可达 300℃ 的温度,并实现多温区烘烤产品。非常适合精密元器件晶圆,晶振退火,环氧树脂固化等热处理。连续式生产的模式,可以与前后工艺的自动化设备联动,实现自动化生产。
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产品详情

产品内容介绍

1、产品介绍
无氧洁净隧道炉能够在氧气浓度低至100 ppm 的气氛中,保持100级洁净度,最高加热温度可达 300℃ 的温度,并实现多温区烘烤产品。非常适合精密元器件晶圆,晶振退火,环氧树脂固化等热处理。连续式生产的模式,可以与前后工艺的自动化设备联动,实现自动化生产。

2、产品特点
● 结构紧凑,占地面积小
● 是多种产品类型的小批量生产的理想选择
● 箱体采用全氩弧焊焊接保证了持续的箱体密封性
● 自动充氮系统
● 配备HEPA耐高温高效过滤器构筑无尘环境
● 外部采用烤漆双重箱体结构
● 触摸屏集成控制

3、选配功能
● 无纸记录仪
● 485通讯或以太网通讯
● 氧气含量分析仪

4、产品参数

型号
YH-CL100-SDL-4500
含氧控制
100PPM以内
过滤效率
0.3um,>99.99%
温度范围
Room temp. +20~300℃
控温精度
+/- 1.0℃
温度均匀性
±2.5%℃
内尺寸H*W*L
60*500*3500(mm)
外尺寸H*W*L
1850*1300*4500(mm)
电源
3 phase AC380V


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