半导体洁净烘箱

产品特点

PRODUCT FEATURES

洁净烘箱广泛用于半导体晶圆、液晶、光学模组、摄像头模组和其他对烘烤要求较高的零件以及设备的热处理/干燥或老化，也适用于安装在洁净室环境中。100级的洁净度主要通过使用初效过滤器，HEPA高效过滤器和前后层流循环系统来实现的，在加热或冷却过程中提供稳定的性能。快速升温和恢复时间确保出色的温度控制和均匀性。具有独特的机械对流气流系统。风扇将底部烤箱产生的热量带走，防止损坏顶部单元。

洁净烘箱采用PT100铂传感器测量实际的腔室温度， 0.3µmHEPA高效过滤器，对空气进行有效循环过滤。烤箱还具备流量计和NPT配件，将惰性气体如氮气等引入腔室内进行特殊工艺烘烤，可以保持低至200PPM含氧水平。

洁净烘箱外材质为SPCC钢板经过苏打水清洗后粉体烤漆处理；内部是耐腐蚀的不锈钢。配备四个可调节的穿孔不锈钢托架，支架和机身易于拆卸，便于清洗。

安全功能包括独立超温保护，相序保护，断电保护等多重保护机制，确保使用安全。设有安全门，烘烤降温到指定温度后才可以打开门，确保操作人员操作安全。

1、SUS304 1.5mm不锈钢板，全满焊工艺；

2、箱内风道内设有洁净空气入口并装有高效过滤器。可使用换气和不换气模式，可以使箱内保证微正压，以保证污染物不能进入内箱；

3、高效过滤器HEPA过滤网构造洁净室，可以对箱体内气体进行单向过滤和循环过滤。根据使用要求，可以满足洁净级别ISO Class 5（国标100级），ISO Class 6（国标1000级），ISO Class 7（国标10000级）等各种等级的需求；

4、配置自动充氮气装置，与自动开关风门进行充氮烘烤；

5、全新开发触摸屏操作系统，带高精度PID主控仪，控温精度为±0.1℃，自动恒温。可以保存配方，查看温度曲线，导出升温数据等；

6、根据使用要求，可以接受定制。

产品参数

PRODUCT PARAMETERS

定制服务

CUSTOM SERVICE

深圳怡和兴可以提供不同程度的均匀性、尺寸、温度范围；如果您有特定的要求或规格，请根据您的需求与我们联系，以便我们确保设备的设计、测试和调整能够满足您的要求。