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洁净烤箱

洁净烤箱

适用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;无尘工业烤箱还可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
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产品详情

产品内容介绍



产品特点

PRODUCT FEATURES

1、结构组成:由箱体部分、电器控制柜、电加热及风道循环系统组装而成,结构合理。 

2、密封性设计:全周氩焊,采用耐高温硅橡胶无尘密封条隔热,确保密封性和洁净度 

3、外部防尘处理:外材质为SPCC钢板经过粉体喷塑,耐磨不掉尘渣; 

4、高效过滤器:HEPA过滤网构造洁净室,99.99%有效过滤,洁净度达到等级100级;

5、节能:保温材质为高密度纤维,保温节能;

6、分层结构设计:内箱层板高低可调,可自由取出;

7、温控仪表:自动控制温度,恒温及时间控制,设有超温自动停电及报警电路,控制可靠,使用安全。

8、电器配件:全部采用一线品牌,PID演算的温控系统和超温保护装置,智能恒温,温差小,适用不同产品的长、短烘烤。

 

产品参数

PRODUCT PARAMETERS

1、温度范围:常温-250℃,恒温可调

2、外部尺寸:H1660*W770*D920mm   内部尺寸:H900*W600*D600mm

3、升温速度:从室温升至200℃在30分钟左右

4、保温性能:外壁温度不超45℃(炉内温度达到200℃时)

5、控温精度:±1℃

6、温度均匀度:±3℃%

7、使用电源:380V/50HZ(三相五线)

核心配置CORE CONFIGURATION

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