精密半导体洁净车间用无尘烘箱
产品内容介绍
产品特点PRODUCT FEATURES
无尘烘箱广泛用于半导体晶圆、液晶、光学模组、摄像头模组和其他对烘烤要求较高的零件以及设备的热处理/干燥或老化，也适用于安装在洁净室环境中。100级的清洁度主要通过使用初效过滤器，HEPA高效过滤器和前后层流循环系统来实现的，在加热或冷却过程中提供稳定的性能。
简单便捷的PID 微处理器温度控制范围可从环境温度 +15°C至 200°C 范围内设置。无尘烘箱采用PT100铂传感器测量实际的腔室温度， 0.3µmHEPA高效过滤器，对空气进行有效循环过滤。还可以选配流量计和NPT配件，将惰性气体引入腔室内进行特殊工艺烘烤。
无尘烘箱外材质为SPCC钢板经过苏打水清洗后粉体烤漆处理；内部是耐腐蚀的不锈钢。配备四个可调节的穿孔不锈钢托架，支架和机身易于拆卸，便于清洗。
安全功能包括独立超温保护，相序保护，断电保护等多重保护机制，确保使用安全。设有安全门，烘烤降温到指定温度后才可以打开门，确保操作人员操作安全。
产品特点
●所有焊接和密封结构确保持续低颗粒数；
●内腔采用不锈钢（304型），耐腐蚀；
●内胆采用满焊处理，管路采用无缝不锈钢管件焊接处理；
●外部烤漆为白色粉末涂层，可提供持久的防腐蚀保护；
●利用玻璃纤维绝缘，以确保机柜较低的表面温度；
●重型门双密封保温结构；
●独立的超温保护；
●每个烤箱都是完全组装的和通过工厂的独立测试；
●耐热HEPA空气过滤输送系统；
●所有再循环空气进行循环过滤，不使用环境洁净室空气；
●在过滤器需更换时，能够通过空气压力表了解；
●高容量水平空气再循环系统和电加热系统可实现性能温度。
产品参数
PRODUCT PARAMETERS
温度范围 | 室温.+20~200°C |
控制精度 | +/- 1.0°C |
温度分布精度 | ±2°C(在100°C)，±3°C(在150°C) |
温度提升时间 | 约25min（室温，→150°C）。空腔室 |
操作功能 | 可选固定温度或程序操作 |
内部尺寸 高X宽X深 | 910x620x620(mm) |
外部尺寸 高X宽X深 | 1750x855x1030(mm) |
工作空间容量 | 350升（12.3立方英尺） |
过滤装置 | 150mm HEPA耐高温高效过滤器 |
电源 | 3相380V |
选配组件
OPTIONAL COMPONENT
1、温度记录器（纸质化或无纸化）
2、可编程控制器、以太网和485/232通信
3、用于运输和安装的无尘室包装
4、层架
5、MES通讯设置
定制服务
CUSTOM SERVICE深圳怡和兴可以提供不同程度的均匀性、尺寸、温度范围；如果您有特定的要求或规格，请根据您的需求与我们联系，以便我们确保设备的设计、测试和调整能够满足您的要求。
发送询盘