精密半导体洁净车间用无尘烘箱
产品内容介绍
产品特点PRODUCT FEATURES
无尘烘箱广泛用于半导体晶圆、液晶、光学模组、摄像头模组和其他对烘烤要求较高的零件以及设备的热处理/干燥或老化，也适用于安装在洁净室环境中。100级的清洁度主要通过使用初效过滤器，HEPA高效过滤器和前后层流循环系统来实现的，在加热或冷却过程中提供稳定的性能。
简单便捷的PID 微处理器温度控制范围可从环境温度 +15°C至 200°C 范围内设置。无尘烘箱采用PT100铂传感器测量实际的腔室温度， 0.3µmHEPA高效过滤器，对空气进行有效循环过滤。还可以选配流量计和NPT配件，将惰性气体引入腔室内进行特殊工艺烘烤。
无尘烘箱外材质为SPCC钢板经过苏打水清洗后粉体烤漆处理；内部是耐腐蚀的不锈钢。配备四个可调节的穿孔不锈钢托架，支架和机身易于拆卸，便于清洗。
安全功能包括独立超温保护，相序保护，断电保护等多重保护机制，确保使用安全。设有安全门，烘烤降温到指定温度后才可以打开门，确保操作人员操作安全。
产品特点
所有焊接和密封结构确保持续低颗粒数
内腔采用不锈钢（304型），耐腐蚀。
内胆采用满焊处理，管路采用无缝不锈钢管件焊接处理
外部烤漆为白色粉末涂层，可提供持久的防腐蚀保护
利用玻璃纤维绝缘，以确保机柜较低的表面温度
重型门双密封保温结构
独立的超温保护
每个烤箱都是完全组装的和通过工厂的独立测试
耐热HEPA空气过滤输送系统
所有再循环空气进行循环过滤，不使用环境洁净室空气
在过滤器需更换时，能够通过空气压力表了解
高容量水平空气再循环系统和电加热系统可实现性能温度
产品参数
PRODUCT PARAMETERS
温度范围 | 房间温度.+20~200°C |
控制精度 | +/- 1.0°C |
温度分布精度 | ±2°C(在100°C)，±3°C(在150°C) |
温度提升时间 | 约25min（室温，→150°C）。空腔室 |
操作功能 | 可选固定温度或程序操作 |
内部尺寸 高X宽X深 | 910x620x620(mm) 35.8x24.4x24.4(inch) |
外部尺寸 高X宽X深 | 1750x855x1030(mm) 68.9x33.7x40.6(inch) |
工作空间容量 | 350升（12.3立方英尺） |
过滤装置 | 150mm HEPA耐高温高效过滤器 |
电源 | 3相380V |
选配组件
OPTIONAL COMPONENT
①多点测温查看及记录功能；②氧含量分析仪；③联网功能；④HEPA高效过滤器；⑤快速降温系统
核心配置CORE CONFIGURATION
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