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精密半导体洁净车间用无尘烘箱

精密半导体洁净车间用无尘烘箱

洁净无尘烘箱适用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
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产品详情

产品内容介绍


产品特点PRODUCT FEATURES

1、SUS304 1.5mm不锈钢板,全满焊工艺;

2、箱内风道内设有洁净空气入口并装有高效过滤器。可使用换气和不换气模式,可以使箱内保证微正压,以保证污染物不能进入内箱;

3、高效过滤器HEPA过滤网构造洁净室,可以对箱体内气体进行单向过滤和循环过滤。根据使用要求,可以满足洁净级别ISO Class 5(国标100级),ISO Class 6(国标1000级),ISO Class 7(国标10000级)等各种等级的需求;

4、配置自动充氮气装置,与自动开关风门进行充氮烘烤;

5、全新开发触摸屏操作系统,带高精度PID主控仪,控温精度为±0.1℃,自动恒温。可以保存配方,查看温度曲线,导出升温数据等;

7、选配件

 ①多点测温查看及记录功能;②氧含量分析仪;③联网功能;④HEPA高效过滤器;⑤快速降温系统

6、根据使用要求,可以接受定制。

核心配置CORE CONFIGURATION

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