精密半导体洁净车间用无尘烘箱

产品特点

PRODUCT FEATURES

无尘烘箱广泛用于半导体晶圆、液晶、光学模组、摄像头模组和其他对烘烤要求较高的零件以及设备的热处理/干燥或老化，也适用于安装在洁净室环境中。100级的清洁度主要通过使用初效过滤器，HEPA高效过滤器和前后层流循环系统来实现的，在加热或冷却过程中提供稳定的性能。

简单便捷的PID 微处理器温度控制范围可从环境温度 +15°C至 200°C 范围内设置。无尘烘箱采用PT100铂传感器测量实际的腔室温度， 0.3µmHEPA高效过滤器，对空气进行有效循环过滤。还可以选配流量计和NPT配件，将惰性气体引入腔室内进行特殊工艺烘烤。

无尘烘箱外材质为SPCC钢板经过苏打水清洗后粉体烤漆处理；内部是耐腐蚀的不锈钢。配备四个可调节的穿孔不锈钢托架，支架和机身易于拆卸，便于清洗。

安全功能包括独立超温保护，相序保护，断电保护等多重保护机制，确保使用安全。设有安全门，烘烤降温到指定温度后才可以打开门，确保操作人员操作安全。

产品特点

● 所有焊接和密封结构确保持续低颗粒数；

● 内腔采用不锈钢（304型），耐腐蚀；

● 内胆采用满焊处理，管路采用无缝不锈钢管件焊接处理；

● 外部烤漆为白色粉末涂层，可提供持久的防腐蚀保护；

● 利用玻璃纤维绝缘，以确保机柜较低的表面温度；

● 重型门双密封保温结构；

● 独立的超温保护；

● 每个烤箱都是完全组装的和通过工厂的独立测试；

● 耐热HEPA空气过滤输送系统；

● 所有再循环空气进行循环过滤，不使用环境洁净室空气；

● 在过滤器需更换时，能够通过空气压力表了解；

● 高容量水平空气再循环系统和电加热系统可实现性能温度。

选配组件

1、温度记录器（纸质化或无纸化）

2、可编程控制器、以太网和485/232通信

3、用于运输和安装的无尘室包装

4、层架

5、MES通讯设置

产品参数

PRODUCT PARAMETERS

定制服务

CUSTOM SERVICE深圳怡和兴可以提供不同程度的均匀性、尺寸、温度范围；如果您有特定的要求或规格，请根据您的需求与我们联系，以便我们确保设备的设计、测试和调整能够满足您的要求。